InGaNのMOVPE選択成長における水素添加の効果

InGaNのMOVPE選択成長における水素添加の効果
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加氢对InGaN MOVPE选择性生长的影响

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中野義昭
中野義昭
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
塩田倫也;富田祐貴;杉山正和;霜垣幸浩;中野義昭

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