溶液法／昇華法を組み合わせたハイブリッド成長法による高品質SiC結晶生産技術開発
溶液法／昇華法を組み合わせたハイブリッド成長法による高品質SiC結晶生産技術開発
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开发采用溶液法/升华法相结合的混合生长法的高品质SiC晶体生产技术
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三谷武志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
入江 優雅;人見啓太朗;野上光博，金 聖祐，小山浩司，ニロイ チャンドラ サハ;嘉数 誠;三谷武志
