Challenges for economical growth of high quality 300 mm CZ Si crystals
Challenges for economical growth of high quality 300 mm CZ Si crystals
复制标题
经济生长高质量 300 mm 直拉硅晶体面临的挑战
DOI：
10.1016/s0167-9317(99)00109-4
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发表时间：
1999
影响因子：
2.3
通讯作者：
W. Zulehner
中科院分区：
文献类型：
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作者：
E. Tomzig;W. Ammon;E. Dornberger;U. Lambert;W. Zulehner
