H.Fujiyama,H.Kawasaki and Y.Matsuda: "Profile Control of Radical Particles by the Scanning Plasma Method" Proc.of 7th Plasma Processing. 289-292 (1990)
H.Fujiyama,H.Kawasaki and Y.Matsuda: "Profile Control of Radical Particles by the Scanning Plasma Method" Proc.of 7th Plasma Processing. 289-292 (1990)
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H.Fujiyama、H.Kawasaki 和 Y.Matsuda：“通过扫描等离子体方法对自由基粒子进行轮廓控制”第七次等离子体处理过程。
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