T.Hori,M.D.Bowden K.Uchino.K.Muraoka: "A study of electron energy distribution functions in an inductively coupled plasma by laser Thomson scattering" Journal of Applied Physics. 83.3. 1909-1916 (1998)
T.Hori,M.D.Bowden K.Uchino.K.Muraoka: "A study of electron energy distribution functions in an inductively coupled plasma by laser Thomson scattering" Journal of Applied Physics. 83.3. 1909-1916 (1998)
复制标题
T.Hori，M.D.Bowden K.Uchino.K.Muraoka：“通过激光汤姆逊散射研究电感耦合等离子体中的电子能量分布函数”应用物理学杂志。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
