Chemical Composition and Characterization of the Si/C Interface in Poly-Si Thin Films on Graphite Substrates
Chemical Composition and Characterization of the Si/C Interface in Poly-Si Thin Films on Graphite Substrates
复制标题
石墨衬底上多晶硅薄膜中 Si/C 界面的化学成分和表征
DOI：
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发表时间：
1996
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Johannes Mueller
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Reindl;T. Fuska;Christian Walz;H. Cerva;R. Lemme;C. Weitzel;W. Kruehler;M. Pauli;Johannes Mueller
