圧電アクチュエータで駆動されるナノポジショナの高精度制御
圧電アクチュエータで駆動されるナノポジショナの高精度制御
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压电致动器驱动的纳米定位器的高精度控制
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
ジャン ビンヤン＊，陳 新開
中科院分区：
文献类型：
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作者：
白井勇聖;立岡浩一;志村洋介;ジャン ビンヤン＊，陳 新開
