A.Murata: "Capacitance-Detection Type of Infrared Sensor using Si-Diaphragm" Technical Digest of the 14th Sensor Symposium. 121-124 (1996)
A.Murata: "Capacitance-Detection Type of Infrared Sensor using Si-Diaphragm" Technical Digest of the 14th Sensor Symposium. 121-124 (1996)
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A.Murata：“使用硅膜片的电容检测型红外传感器”第 14 届传感器研讨会技术文摘。
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