AlN薄膜中転位のHRTEM観察
AlN薄膜中転位のHRTEM観察
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AlN薄膜位错的HRTEM观察
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
幾原雄一
中科院分区:
文献类型:
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作者:
徳本有紀;柴田直哉;溝口照康;山本剛久;幾原雄一