SiC溶液成長法を用いた転位フリー加工基板上への選択成長と接合機能
SiC溶液成長法を用いた転位フリー加工基板上への選択成長と接合機能
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使用 SiC 溶液生长方法在无位错加工基板上进行选择性生长和键合功能
DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
金子忠昭
中科院分区:
文献类型:
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作者:
樋口雅之;渡辺諒;芦田晃嗣;久津間保徳;金子忠昭