Direct bonding of two crystal substrates at room temperature by Ar-beam surface activation
Direct bonding of two crystal substrates at room temperature by Ar-beam surface activation
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通过 Ar 束表面活化在室温下直接粘合两个晶体基板
DOI：
10.1016/j.jcrysgro.2006.04.049
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发表时间：
2006
影响因子：
1.8
通讯作者：
R. Maeda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Takagi;R. Maeda
