Plasma-Assisted Sputtering with ICP Driven by Inner-Type Low-Inductance Antenna
Plasma-Assisted Sputtering with ICP Driven by Inner-Type Low-Inductance Antenna
复制标题
内置式低电感天线驱动的 ICP 等离子体辅助溅射
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
A. Ebe
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y. Setsuhara;K. Cho;K. Takenaka;A. Ebe
