Evaluation of Stress Relaxation in Strained SiGe Wire by Two-dimensional Super-resolution Raman S
Evaluation of Stress Relaxation in Strained SiGe Wire by Two-dimensional Super-resolution Raman S
复制标题
利用二维超分辨率拉曼光谱评估应变 SiGe 线中的应力松弛
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Atsushi Ogura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Motohiro Tomita;Daisuke Kosemura;Koji Usuda;Tsutomu Tezuka;Atsushi Ogura
