粉体ターゲットスパッタリングによる傾斜機能性膜の作製II
粉体ターゲットスパッタリングによる傾斜機能性膜の作製II
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粉末靶溅射制备功能梯度薄膜II
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
須本航輝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岩瀬瑞稀;中島雅子;須本航輝
