F.Tochikubo T.Makabe: "Absolute measurement of the excitation rate and density of the excited species in an RF discharge from the optical emission spectroscopy" Measurement Sci & Technol.2. 1133-1137 (1991)
F.Tochikubo T.Makabe: "Absolute measurement of the excitation rate and density of the excited species in an RF discharge from the optical emission spectroscopy" Measurement Sci & Technol.2. 1133-1137 (1991)
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F.Tochikubo T.Makabe：“通过光学发射光谱对 RF 放电中激发物种的激发速率和密度进行绝对测量”Measurement Sci
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