単結晶AlN基板上AlGaInN/GaN HEMTの作製と特性評価 (II)
単結晶AlN基板上AlGaInN/GaN HEMTの作製と特性評価 (II)
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单晶 AlN 衬底上 AlGaInN/GaN HEMT 的制备与表征(二)
DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
三好 実人
中科院分区:
文献类型:
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作者:
川出 智之;田中 さくら;井上 暁喜;江川 孝志;三好 実人