S.Imai: "Atomic Layer Etching of Silicon by Thermal Desorption Method" Japanese Journal of Applied Physics. 34. 5049-5053 (1995)
S.Imai: "Atomic Layer Etching of Silicon by Thermal Desorption Method" Japanese Journal of Applied Physics. 34. 5049-5053 (1995)
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S.Imai：“通过热脱附法对硅进行原子层蚀刻”日本应用物理学杂志。
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