大気圧プラズマ化学輸送法を用いたドライエッチング技術の開発
大気圧プラズマ化学輸送法を用いたドライエッチング技術の開発
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利用常压等离子体化学输运法的干法蚀刻技术的开发
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安武潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大参宏昌;垣内弘章;安武潔
