Fabrication of sub-beam size nanoholes by controlled focused electron beam-induced etching
Fabrication of sub-beam size nanoholes by controlled focused electron beam-induced etching
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通过受控聚焦电子束诱导蚀刻制造亚束尺寸纳米孔
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Terashima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Miyazoe;I. Utke;J. Michler;K. Terashima
