Stress evaluation in thin films: Micro-focus synchrotron X-ray diffraction combined with focused ion beam patterning for do evaluation
Stress evaluation in thin films: Micro-focus synchrotron X-ray diffraction combined with focused ion beam patterning for do evaluation
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薄膜应力评估：微焦同步加速器 X 射线衍射与聚焦离子束图案相结合进行评估
DOI：
10.1016/j.tsf.2013.07.019
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
Baimpas N
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Baimpas N
