H.Yoshiki, Y.Horiike: "Capacitively coupled microplasma source on a chip at atmospheric pressure."Jpn.J.Appl.Phys.. 40. L360-L362 (2001)
H.Yoshiki, Y.Horiike: "Capacitively coupled microplasma source on a chip at atmospheric pressure."Jpn.J.Appl.Phys.. 40. L360-L362 (2001)
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H.Yoshiki、Y.Horiike:“大气压下芯片上的电容耦合微等离子体源。”Jpn.J.Appl.Phys.. 40. L360-L362 (2001)
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