K.Ino: "In situ Chamber Cleaning Using Halo-genated-Gas Plasmas Evaluated by Plasma-Parameter Analysis" Extended Abstracts,184th Electrochemical Society Meeting,New Orleans. 539-540 (1993)
K.Ino: "In situ Chamber Cleaning Using Halo-genated-Gas Plasmas Evaluated by Plasma-Parameter Analysis" Extended Abstracts,184th Electrochemical Society Meeting,New Orleans. 539-540 (1993)
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K.Ino：“通过等离子体参数分析评估卤化气体等离子体的原位室清洁”扩展摘要，第 184 届电化学学会会议，新奥尔良。
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