超高精度离子束抛光工具设计与性能分析
超高精度离子束抛光工具设计与性能分析
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DOI：
10.11887/j.cn.201506004
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
彭文强
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鹿迎;解旭辉;周林;彭文强
