振動環境下で撮影された白色干渉像からの高精度形状計測

振動環境下で撮影された白色干渉像からの高精度形状計測
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利用振动环境下拍摄的白色干涉图像进行高精度形状测量

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
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通讯作者:
3番目)
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中科院分区:
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文献类型:
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作者:
安達正明(他2名;3番目)

文献摘要

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