Visualizing is Believing - Test Strucutures for Deep-Etched High Aspect Ratio MEMS Process and Device Characterization (Invited)
Visualizing is Believing - Test Strucutures for Deep-Etched High Aspect Ratio MEMS Process and Device Characterization (Invited)
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可视化是可信的——深蚀刻高深宽比 MEMS 工艺和器件表征的测试结构（特邀）
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Mita Yoshio
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Ueda;S. Aichi;and H. Asano;Mita Yoshio
