Effects of Atmosphere and Temperature on Microtribology between Silicon Single Crystals
Effects of Atmosphere and Temperature on Microtribology between Silicon Single Crystals
复制标题
气氛和温度对硅单晶间微观摩擦学的影响
DOI：
10.2320/jinstmet.j2020014
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发表时间：
2020
影响因子：
0.5
通讯作者：
坂公恭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高木誠;長江昂亮;木内亮介;岩田博之;坂公恭
