K.Kimura, T.Miyoshi, Y.Takaya, S.Takahashi: "New Chemical Mechanical Polishing based on Particle Aggregation by Optical Radiation Pressure"Proc. of Intonational Workshop on Extreme Optics and Sensors, University Academy Press. 269-276 (2003)
K.Kimura, T.Miyoshi, Y.Takaya, S.Takahashi: "New Chemical Mechanical Polishing based on Particle Aggregation by Optical Radiation Pressure"Proc. of Intonational Workshop on Extreme Optics and Sensors, University Academy Press. 269-276 (2003)
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K.Kimura、T.Miyoshi、Y.Takaya、S.Takahashi：“基于光辐射压力粒子聚集的新型化学机械抛光”Proc。
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