Hf_(0.2)Zr_(0.8)O_2铁电薄膜的制备与电性能研究
Hf_(0.2)Zr_(0.8)O_2铁电薄膜的制备与电性能研究
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DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
刘兴鹏
中科院分区:
文献类型:
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作者:
吴诗捷;朱俊;罗文博;吴智鹏;林亚丽;刘兴鹏