10GHzマイクロECRプラズマの真空紫外分光計測
10GHzマイクロECRプラズマの真空紫外分光計測
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10GHz微型ECR等离子体的真空紫外光谱测量
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
河野明廣
中科院分区：
文献类型：
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作者：
畔木俊宏;荒巻光利;河野明廣
