分極疲労時の強誘電体HfxZr1－xO2/TiN界面反応に起因した酸素欠損生成の起源
分極疲労時の強誘電体HfxZr1－xO2/TiN界面反応に起因した酸素欠損生成の起源
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极化疲劳过程中铁电HfxZr1-xO2/TiN界面反应产生氧空位的起源
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
喜多 浩之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
女屋 崇;長田 貴弘;生田目 俊秀;山下良之;塚越 一仁;森田 行則;太田 裕之;右田 真司;喜多 浩之
