Good Conformability of Indium-Tin Oxide Thim Films Prepared by Spray Chemical Vapor Deposition
Good Conformability of Indium-Tin Oxide Thim Films Prepared by Spray Chemical Vapor Deposition
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喷雾化学气相沉积制备的氧化铟锡薄膜具有良好的适形性
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Uchida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Kondo;Y.Sawada;H.Funakubo;K.Akiyama;T.Kiguchi;M.W.Wang;T.Uchida
