Si (001)基板上3C-SiCエピタキシャル薄膜における積層欠陥発生プロセスの収差補正TEM解析
Si (001)基板上3C-SiCエピタキシャル薄膜における積層欠陥発生プロセスの収差補正TEM解析
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Si(001)衬底上3C-SiC外延薄膜堆垛层错产生过程的像差校正TEM分析
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