Poly type dependence of permittivity of SiC films
Poly type dependence of permittivity of SiC films
复制标题
SiC 薄膜介电常数的多晶型依赖性
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. Nakamura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Nakamura;A. Natori;涌井貞一;谷内良亮;田村雅大;田村雅大;谷内良亮;涌井貞一;J. Nakamura;J.Nakamura;J.Nakamura;S. Wakui;K. Sato;R. Yanai;J. Nakamura;J. Nakamura
