井上,尚三: "高周波反応性スパッタリング法によるAl-AlN系傾斜機能薄膜の作製" 日本金属学会誌. 58. 194-200 (1994)
井上,尚三: "高周波反応性スパッタリング法によるAl-AlN系傾斜機能薄膜の作製" 日本金属学会誌. 58. 194-200 (1994)
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Inoue, Shozo:“通过高频反应溅射法制备 Al-AlN 功能梯度薄膜”,日本金属学会杂志 58. 194-200 (1994)。
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