Numerical Modeling of the Transient behavior of MEMS Structures Involving Motion in Arbitrary Directions
Numerical Modeling of the Transient behavior of MEMS Structures Involving Motion in Arbitrary Directions
复制标题
涉及任意方向运动的 MEMS 结构瞬态行为的数值模拟
DOI:
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发表时间:
2003
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
M.Tentzeris
中科院分区:
文献类型:
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作者:
M.Kuroda;N.Miura;K.Kawano;M.Tentzeris
影响因子:
0.5
作者:
M. Kuroda
通讯作者:
M. Kuroda