S.Chichibu: ""Use of tertiarybutylarsine in ArF excimer laser doping of arsenic into silicon"" J.Vacuum Science & Technology. Vol.11. 341-343 (1993)
S.Chichibu: ""Use of tertiarybutylarsine in ArF excimer laser doping of arsenic into silicon"" J.Vacuum Science & Technology. Vol.11. 341-343 (1993)
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S.Chichibu：“叔丁基胂在 ArF 准分子激光将砷掺杂到硅中的用途”J.Vacuum Science
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