Measuring Thickness and Ultrasound Velocity of Thin Film by Means of Acoustic Resonant Spectroscopy
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声共振光谱测量薄膜厚度和超声速度
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and I. Ihara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
I. Matsuya;T. Saito;T. Kuwahara;M. Kondo;K. Ohnuma;and I. Ihara
