ボイスコイルモータを用いたDLC膜の繰返し押付け試験機の開発および圧痕の評価
ボイスコイルモータを用いたDLC膜の繰返し押付け試験機の開発および圧痕の評価
复制标题
采用音圈电机的DLC薄膜反复压制试验机的研制及压痕评价
DOI：
--
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
木村一貴，中村守正，松岡敬
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T. Kobayashi;I. Maruyama;Y. Utsumi;A. Yamaguchi and I. C. Gruescu;宮木厳太朗，田中孔明，長谷川浩志;木村一貴，中村守正，松岡敬
