Titanium Oxide Thin Film Preparation by Pulsed Laser Deposition Method Using Ti and TiO<sub>2</sub> Powder Target
Titanium Oxide Thin Film Preparation by Pulsed Laser Deposition Method Using Ti and TiO<sub>2</sub> Powder Target
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Ti和TiO<sub>2</sub>粉末靶材脉冲激光沉积法制备氧化钛薄膜
DOI：
10.14723/tmrsj.40.21
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Suda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Kawasaki;T. Ohshima,Y. Yagyu;T. Ihara;Y. Tanaka;Y. Suda
