樋口 俊郎 他: "マイクロマシン技術総覧"産業技術サービスセンター. 753 (2003)
樋口 俊郎 他: "マイクロマシン技術総覧"産業技術サービスセンター. 753 (2003)
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Toshiro Higuchi 等人：《微型机械技术概述》工业技术服务中心 753 (2003)。
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