Characterization of Ti/TiN and TiN Conductive Layer for High Temperature MEMS Devices
Characterization of Ti/TiN and TiN Conductive Layer for High Temperature MEMS Devices
复制标题
高温 MEMS 器件 Ti/TiN 和 TiN 导电层的表征
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Joerg Syre
中科院分区：
文献类型：
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作者：
P. Lange;Birger Ohlsen;S. Puls;Joerg Syre
