RF blade nano-electromechanical resonator with self-aligned process for definition of Lateral electrostatic transducers
RF blade nano-electromechanical resonator with self-aligned process for definition of Lateral electrostatic transducers
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具有自对准工艺的射频刀片纳米机电谐振器，用于定义横向静电换能器
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
L.Buchaillot
中科院分区：
文献类型：
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作者：
V.Agache;B.Legrand;D.Collard;H.Fujita;L.Buchaillot
