佐々木実, 能川真一郎, 羽根一博: "立体的マイクロマシニングのためのレジストスプレーコーティング"電気学会論文誌E. 121-E. 235-243 (2002)

佐々木実, 能川真一郎, 羽根一博: "立体的マイクロマシニングのためのレジストスプレーコーティング"電気学会論文誌E. 121-E. 235-243 (2002)
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Minoru Sasaki、Shinichiro Nokawa、Kazuhiro Hane:“用于三维微加工的抗蚀剂喷涂”日本电气工程师学会会刊 E. 121-E. 235-243 (2002)

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