面内方向駆動型圧電MEMSスイッチのためのSi 鋳型を用いた高アスペクト比PZT構造体の作製法の開発
面内方向駆動型圧電MEMSスイッチのためのSi 鋳型を用いた高アスペクト比PZT構造体の作製法の開発
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使用硅模具开发高纵横比 PZT 结构的制造方法，用于面内方向驱动压电 MEMS 开关
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
江刺正喜
中科院分区：
文献类型：
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作者：
王楠;吉田慎哉;熊野勝文;江刺正喜
