T.Takahashi;K.Watanabe;Y.Nakayama;T.Kawamura: Proceeding of the 6th Symposium on Plasma Processing,Kyoto 1989. 494-497 (1989)
T.Takahashi;K.Watanabe;Y.Nakayama;T.Kawamura: Proceeding of the 6th Symposium on Plasma Processing,Kyoto 1989. 494-497 (1989)
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T.Takahashi;K.Watanabe;Y.Nakayama;T.Kawamura：第六届等离子体处理研讨会论文集，京都 1989。494-497 (1989)
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