合金ターゲットを用いたスパッタ法によるZrCuNiAl金属ガラス薄膜の作製
合金ターゲットを用いたスパッタ法によるZrCuNiAl金属ガラス薄膜の作製
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合金靶溅射法制备ZrCuNiAl金属玻璃薄膜
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
船越政伸,吉木啓介,生津資大,井上尚三
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Seung-zeon. Han;Masahiro Goto;Kwangjun Euh;Jee-hyuk Ahn;船越政伸,吉木啓介,生津資大,井上尚三
