Characterization of Deposited and Nitrogen implanted Titanium Films-猫眼课题宝

沉积钛膜和氮注入钛膜的表征

DOI：

发表时间：

2005

期刊：

e-J. Surf. Sci. Nanotech. 3

影响因子：

通讯作者：

中科院分区：

文献类型：

作者：

三枝進;初田亨ほか;Y.Kasukabe;Y.Kasukabe;Y.Kasukabe;粕壁善隆;Y.Kasukabe;Y.Kasukabe;Y.Kasukabe;Y.Kasukabe;S.Nishida;J.J.Wang;J.J.Wang