亀川 宣広: "円環スロットアンテナ型大口径マイクロ波プラズマによるSiのエッチング" 電気関係学会九州支部連合大会 講演論文集. 47. 140 (1994)
亀川 宣広: "円環スロットアンテナ型大口径マイクロ波プラズマによるSiのエッチング" 電気関係学会九州支部連合大会 講演論文集. 47. 140 (1994)
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Nobuhiro Kamekawa：“使用带有环形缝隙天线的大直径微波等离子体蚀刻硅”日本九州电气工程师联合会会议记录，47. 140（1994）
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