高精度プレス焼結によるシリコン・炭素複合厚膜の創製

高精度プレス焼結によるシリコン・炭素複合厚膜の創製
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高精度压制烧结制备硅碳复合厚膜

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
砥粒加工学会誌
影响因子:
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通讯作者:
城所貴博,閻 紀旺
城所貴博,閻 紀旺
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
吉田直人,山口健,林美佳,高橋桂,村上修,堀切川一男;城所貴博,閻 紀旺

文献摘要

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