超音波センサ用MEMS圧電ダイアフラムのパルス音波受信時の振動モードへの上部電極の影響
超音波センサ用MEMS圧電ダイアフラムのパルス音波受信時の振動モードへの上部電極の影響
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超声波传感器MEMS压电振膜接收脉冲声波时上电极对振动模式的影响
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西岡知記
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Ryuto;M. Takeuchi;中瀬大志;西岡知記
